Le traitement des matériaux par laser à impulsions ultracourtes est une nouvelle méthode de micro-usinage qui suscite de plus en plus d'intérêt. Sa capacité d'usinage submicrométrique a été prouvée. Un déflecteur acousto-optique à deux axes est utilisé pour obtenir une vitesse élevée et une grande flexibilité dans l'orientation du faisceau. Cependant, la dispersion associée à l'interaction acoustique-optique entraîne une déformation spatiale importante du point d'écriture. La compensation de la dispersion est proposée et étudiée. Les expériences montrent des résultats prometteurs. Un autre avantage de la méthode de compensation proposée est qu'elle permet également de contrôler précisément le nombre d'impulsions et, par conséquent, d'améliorer la qualité de l'ablation.

2001 Société d'optique d'Amérique